全自动晶圆扩膜机产品说明 

    AWE系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序，配备PLC和触摸屏控制系统，可均匀的扩张晶粒之间的间距。

产品特点: 

1.扩膜的高度和速度可直接在触摸屏上设定；

2.工作盘具有加热功能，有助于膜的延伸性；

3.调整工作盘上升的高度，即可调整晶粒之间的间距；

4.急停开关；当设备出现紧急情况下，按此按钮；

5.电源开关：按下“O”关闭电源，按下“－”开启电源；

6.复位键；开机后，必须先按复位键，使设备各轴处于原点位置；

7.启动键：全自动模式的启动键，与触摸屏全自动模式下的启动键作用一样,圆周刀自动圆切；

8.温控器：用于设定台盘加热温度；

9.触摸显示屏，用于操作机器的显示屏

10.每小时产能: 60-90 片

11.精度：同心圆±2MM

12.上盖板下翻后自动锁紧