产 品 说 明 

全自动UV解胶机（  Fully automatic UV Curing System）性能及特点：

AV-DUV300是一款全自动晶圆UV解胶机带Frame自动进出料盒的UV解胶设备，该设备兼容12”以下带Frame的wafer，且无需治具更换。

技术参数：

膜种类: UV膜

晶圆规格： 12寸以下晶圆 

照射光源: 光源UVLED灯珠，波长可选。

照射光照度:50-500MW/cm2

照度检测：照度点检探头

装卸方式: 自动进出料盒,标准配置为一个料盒

生产效率：≥90PCS/H（UV解胶时长10秒）

晶圆承载系统:固定位密闭腔体

产品定位:定位框架

贴标系统：解胶完成自动打标已解胶

运行系统：上下运动+前后运动

电力供应: 单相交流电220V,3KW

压缩空气压力: 0.3～0.6Mpa

氮气压力：0.3～0.6Mpa

氮气流量：10-50L/min

安全运行：工作中盖子上锁无法打开，报警灯蜂鸣。

WINDOWS+PLC程序：编辑多组解胶时长及光源照度大小

SECS/GEM：可选