产 品 说 明 
特点：
1.支持多尺寸晶圆:3\4\5\6\8\12英寸
2.设定参数均可调整
3.参数设定修改均可通过触摸屏实现
4.客户模式均可自由更改
5.工作盘转速范围：0-3000转/分钟
性能：
工作盘马达         交流感应马达
摆臂马达           交流伺服马达
干燥方式           旋转
清洗方式           二流体清洗
显示                5英寸触摸屏，操作/编辑数据，显示错误信息等
操作键             开始/停止，紧急停止 
电源               交流220-230伏特      50/60赫兹 
压缩空气           0.45-0.65   兆帕